反滲透水處理設(shè)備(膜分離)技術(shù)的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器得到了一次進(jìn)步。近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI(電去離子)技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次**，從此進(jìn)入了一個無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI 成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.
　　反滲透裝置是采用專用RO技術(shù)設(shè)計，關(guān)鍵部件、設(shè)備采用進(jìn)口品牌產(chǎn)品，工藝先進(jìn)，質(zhì)量可靠，可擴展性強，結(jié)構(gòu)合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動化運行，操作維護(hù)簡單。根據(jù)用戶要求設(shè)計制造反滲透純水設(shè)備，一般產(chǎn)水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可達(dá)75%以上，脫鹽率>98%。產(chǎn)水量隨進(jìn)水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化?！　?br>　　采用的現(xiàn)代超純水制造工業(yè)純水設(shè)備典型工藝流程為：
　　1、預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
　　2、預(yù)處理-**反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
　　3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
　　4、預(yù)處理→紫外線**裝置→**RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點。
　　水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)。
　　設(shè)計原則：
　　品質(zhì)---依照客戶生產(chǎn)所需超純水的水質(zhì)要求及生產(chǎn)特點，并考慮水源的水質(zhì)(需客戶提供水質(zhì)分析報告或源水樣品)。
　　可擴充性—系統(tǒng)分段設(shè)計規(guī)劃，考慮就近用水和生產(chǎn)**需要，可依照生產(chǎn)線需求隨時擴充產(chǎn)能，客戶可分階段投資。
　　反滲透(膜分離)法超純水制造技術(shù):
　　反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進(jìn)行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
　　反滲透法分離過程有如下優(yōu)點：
　　不需加熱、沒有相變。
　　能耗少、過程連續(xù)穩(wěn)定。
　　設(shè)備體積小、操作簡單，適應(yīng)性強。
　　對環(huán)境不產(chǎn)生污染。